公益財団法人 京都産業21 京都次世代ものづくり産業 雇用創出プロジェクト

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「第3回産学交流セミナー」開催報告〈講演内容〉 

「室温硬化ナノインプリント法によるDLCの超微細加工技術」

 

 ナノインプリント・リソグラフィ(NIL:Nanoimprint Lithography)技術は、低コストかつ高スループットでナノパターンを一括転写で大量生産できるナノテクノロジーの 1 つとして注目され、またダイヤモンドライクカーボン(DLC:Diamond Like Carbon)は、高耐摩耗性、高硬度、負の電子親和力などの特異な性質を持つため、医療用マイクロマシンの摺動部品であるマイクロギヤやフラットパネルディスプレイ用のナノエミッタの材料として期待されています。

今回のセミナーでは、室温で徐々に硬化する転写材料を用いて、凹形状のポリジメチルシロキサン (PDMS:Polydimethylsiloxane)モールドを用いた室温ナノインプリント法によりDLCのナノ加工を行い、高精度なマイクロギヤやナノエミッタ作製の研究を紹介して頂きました。

 

 

 

講  師:清原 修二氏( 舞鶴工業高等専門学校 電子制御工学科 准教授)

日  時:平成29年9月13日(水) 14:00~16:00

会  場:北部産業技術支援センター・綾部 研修室

参加者数:13名

 

講演内容はコチラ

 

会場風景

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お問い合わせ:公益財団法人京都産業21北部支援センター(℡0772-69-3675)